Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung eines Bauelementes mit wenigstens einem Membranabschnitt und Bauelement und Verwendung eines Bauelements

Der hier vorgestellte Ansatz schafft ein Verfahren (200) zur Herstellung eines Bauelementes (105) mit wenigstens einer Membranlage (145), wobei das Verfahren (200) einen Schritt des Bereitstellens (210) eines Trägermaterials (115) aufweist. Ferner umfasst das Verfahren (200) einen Schritt des Aufbri...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Tilke, Martin, Zybell, Sabine, Panitz, Meik, Grimm, Daniel, Raupach, Lutz
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES METALLURGY MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY NANOTECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Der hier vorgestellte Ansatz schafft ein Verfahren (200) zur Herstellung eines Bauelementes (105) mit wenigstens einer Membranlage (145), wobei das Verfahren (200) einen Schritt des Bereitstellens (210) eines Trägermaterials (115) aufweist. Ferner umfasst das Verfahren (200) einen Schritt des Aufbringens (220) einer Membranlage (145) auf das Trägermaterial (115), wobei die Membranlage (145) ein Aluminiumnitrid-Material aufweist, bei dem ein Verhältnis des Aluminiums zu Stickstoff im Bereich von größer als 1 bis 1,4 liegt, um das Bauelement (105) herzustellen. The approach presented here provides a method (200) for producing a component (105) comprising at least one membrane layer (145), the method (200) comprising a step of providing (210) a carrier material (115). Furthermore, the method (200) comprises a step of applying (220) a membrane layer (145) to the carrier material (115), the membrane layer (145) comprising an aluminum nitride material in which an aluminum to nitrogen ratio is in the range of greater than 1 to 1.4 in order to produce the component (105).