Optisches Element mit schwingungsmindernden Abschnitten von Fluidleitungen und Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines optischen Elementes sowie Projektionsbelichtungsanlage

Die Erfindung betrifft ein optisches Element (Mx, 117) mit einem Grundkörper (30) und mindestens einer im Grundkörper (30) ausgebildeten Fluidleitung (32) zur Führung eines Temperierungsfluids (38). Dabei ist die Fluidleitung (32) mindestens abschnittsweise derart ausgebildet, dass diese die Anregun...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schweigert, Eduard
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OFTHREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVEAGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING,STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BLASTING CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILSOF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTROGRAPHY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS GLASS HEATING HOLOGRAPHY INSTRUMENT DETAILS JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES LIGHTING MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES MATERIALS THEREFOR MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY MINERAL OR SLAG WOOL OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PIPES SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING THERMAL INSULATION IN GENERAL TRANSPORTING WEAPONS
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