Optisches Element mit schwingungsmindernden Abschnitten von Fluidleitungen und Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers eines optischen Elementes sowie Projektionsbelichtungsanlage

Die Erfindung betrifft ein optisches Element (Mx, 117) mit einem Grundkörper (30) und mindestens einer im Grundkörper (30) ausgebildeten Fluidleitung (32) zur Führung eines Temperierungsfluids (38). Dabei ist die Fluidleitung (32) mindestens abschnittsweise derart ausgebildet, dass diese die Anregun...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schweigert, Eduard
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ADDITIVE MANUFACTURING TECHNOLOGY ADDITIVE MANUFACTURING, i.e. MANUFACTURING OFTHREE-DIMENSIONAL [3-D] OBJECTS BY ADDITIVE DEPOSITION, ADDITIVEAGGLOMERATION OR ADDITIVE LAYERING, e.g. BY 3-D PRINTING,STEREOLITHOGRAPHY OR SELECTIVE LASER SINTERING APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BLASTING CHEMISTRY CINEMATOGRAPHY CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILSOF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTROGRAPHY ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS GLASS HEATING HOLOGRAPHY INSTRUMENT DETAILS JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES LIGHTING MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES MATERIALS THEREFOR MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY MINERAL OR SLAG WOOL OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PIPES SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING THERMAL INSULATION IN GENERAL TRANSPORTING WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein optisches Element (Mx, 117) mit einem Grundkörper (30) und mindestens einer im Grundkörper (30) ausgebildeten Fluidleitung (32) zur Führung eines Temperierungsfluids (38). Dabei ist die Fluidleitung (32) mindestens abschnittsweise derart ausgebildet, dass diese die Anregung mechanischer Schwingungen durch das Temperierungsfluid (38) minimiert und/oder mechanische Schwingungen im Temperierungsfluid (38) dämpft. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Projektionsbelichtungsanlage sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Grundkörpers für ein derartiges optisches Element (Mx, 117) mit einem additiven Verfahren, umfassend folgende Verfahrensschritte:- Herstellung mindestens eines Teilkörpers des Grundkörpers mit einem Polyjetverfahren, wobei das zur Herstellung Teilkörpers verwendete Materialgemisch ein Trägermaterial mit mindestens einem Monomer und/oder Oligomer und ein Strukturmaterial mit einem Glaspulver aufweist- Polymerisation des Teilkörpers- Erwärmung des polymerisierten Teilkörpers zum thermischen Verbinden der Glaspulverbestandteile und zur Verbrennung des Polymers- Sintern des Teilkörpers The invention relates to an optical element (Mx, 117) with a base element (30) and at least one fluid line (32), formed in the base element (30), for guiding a temperature-control fluid (38). At least some sections of the fluid line (32) are designed in such a way that the fluid line minimises the excitation of mechanical vibrations by the temperature-control fluid (38) and/or dampens mechanical vibrations in the temperature-control fluid (38). The invention also relates to a projection exposure system and to a method for producing a base element for an optical element (Mx, 117) of this type using an additive manufacturing method, comprising the following method steps: - producing at least one partial element of the base element with a polyjet method, wherein the material mixture used to produce the partial element has a carrier material with at least one monomer and/or oligomer and a structural material with a glass powder; polymerising the partial element; heating the polymerised partial element in order to thermally bond the glass powder components and to combust the polymer; sintering the partial element.