Schraubgetriebeantrieb sowie Retikel-Stage und Vermessungsvorrichtung für Halbleiter-Lithografie-Anwendungen

Die Erfindung betrifft einen Schraubgetriebeantrieb (1), insbesondere für die Retikel-Stage (100) einer Vorrichtung (200) für Lithografie-Anwendungen, umfassend eine Gewindespindel (4) mit einem Bewegungsgewinde, einer mit dem Bewegungsgewinde zusammenwirkenden Spindelmutter (5) und einen steuerbaren Antrieb (2) zur Rotation der Gewindespindel (4), wobei die Spindelmutter (5) mit einem Spindelflansch (10) zur Anbindung an ein relativ zum Antrieb zu bewegenden Bauteil (104) verbunden ist, wobei der Spindelflansch (10) zwei Anbindungselemente (11,12) jeweils zur Verbindung mit der Spindelmutter (5) oder dem zu bewegenden Bauteil (104) umfassen, die durch sechs beidseitig fest eingespannte elastisch verformbare Streben (13, 23) identischer Länge verbunden sind, wobei die Einspannungen (23`) der Streben (13, 23) an den Anbindungselementen (11, 12) in zwei parallelen Anbindungsebenen (20) jeweils paarweise in regelmäßigen Abständen über jeweils einen Anbindungskreis (21) derart verteilt angeordnet sind, dass zwei zueinander benachbarte Streben (13,23) jeweils einen Winkel einschließen, wobei das Verhältnis der Radien der beiden Anbindungskreise (21) 0,5 beträgt, und die Anbindungskreise (21) koaxial auf einer gemeinsamen Längsachse (14, 24) angeordnet sind.Weiterhin betrifft die Erfindung eine Retikel-Stage (100) sowie eine Vorrichtung (200) mit einer Retikel-Stage (100), wobei die Retikel-Stage (100) einen erfindungsgemäßen Schraubgetriebeantrieb (1) aufweist. The invention relates to a screw transmission drive (1), in particular for the reticle stage (100) of a device (200) for lithography applications, comprising a leadscrew (4), which has a power transmission thread and a leadscrew nut (5) which interacts with the power transmission thread, and a controllable drive (2) for rotating the leadscrew (4), wherein the leadscrew nut (5) is connected to a leadscrew flange (10) for connection to a component (104) to be moved relative to the drive; the leadscrew flange (10) has two connection elements (11, 12) for connecting, respectively, to the leadscrew nut (5) and to the component (104) to be moved, the connection elements being connected by six elastically deformable struts (13, 23) of identical length which are fixedly clamped at both ends; the clamping points (23') of the struts (13, 23) at the connection elements (11, 12) are distributed, in two parallel connection planes (20), in pairs at regular intervals over respective connection circles (21) such that ea