Verfahren zur Messung der Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung

Verfahren zum Bestimmen einer Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung (10), die einen massenspektrometrischen Gasdetektor (12), eine mit dem Gasdetektor (12) verbundene Hochvakuumpumpe (16) und eine mit der Hochvakuumpumpe (16) ver...

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1. Verfasser: Mathioudakis, Simon
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Verfahren zum Bestimmen einer Umgebungskonzentration eines leichten Gases mit einer massenspektrometrischen Gegenstrom-Lecksuchvorrichtung (10), die einen massenspektrometrischen Gasdetektor (12), eine mit dem Gasdetektor (12) verbundene Hochvakuumpumpe (16) und eine mit der Hochvakuumpumpe (16) verbundene Vorvakuumpumpe (24) aufweist, wobei die Vorvakuumpumpe (24) einen zur Atmosphäre hin offenen Gasauslass aufweist, wobei mit der Vorvakuumpumpe (24) die Hochvakuumpumpe (16) und/oder der Gasdetektor (12) evakuiert werden,ist dadurch gekennzeichnet, dass Luft aus der Umgebung der Vorvakuumpumpe (24) derart in die laufende Vorvakuumpumpe (24) oder in deren einlassseitigen Vorvakuumbereich eingelassen wird, dass eine Gaskomponente des eingelassenen Luft-Gasgemischs, die leichter ist als Luft, im Gegenstrom in den Gasdetektor (12) eingeleitet wird und dort detektiert wird, während die übrigen Gasbestandteile des eingeleiteten Luftgemischs durch den Ausgang der Vorvakuumpumpe (24) der umgebenden Atmosphäre (54) zugeführt werden. A method for determining a surroundings concentration of a light gas with a mass-spectrometric counterflow leak-detecting device (10) that has a mass-spectrometric gas detector (12), a high-vacuum pump (16) connected to the gas detector (12) and a pre-vacuum pump (24) connected to the high-vacuum pump (16), wherein the pre-vacuum pump (24) has a gas outlet open to the atmosphere, wherein the high-vacuum pump (16) and/or the gas detector (12) is/are evacuated with the pre-vacuum pump (24), is characterised in that air from the surroundings of the pre-vacuum pump (24) is introduced into the running pre-vacuum pump (24) or into the inlet-side pre-vacuum region thereof in such a manner that a gas component of the introduced air-gas mixture that is lighter than air, is introduced in the counterflow into the gas detector (12) and is detected there, while the other gas components of the introduced air mixture are fed to the surrounding atmosphere (54) through the exit of the pre-vacuum pump (24).