Verfahren zur Bestimmung eines korrigierten Höhensignals aus Messdaten, die mittels optischer Kohärenztomographie gewonnen wurden, und zugehörige Messvorrichtung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung eines korrigierten Höhensignals (44) aus Messdaten (36), die mittels optischer Kohärenztomographie gewonnen wurden, wobei die Messdaten (36) auf Interferenz von in einem Messarm (24) geführtem Messlicht und in einem Referenzarm (26) geführtem Referenzlicht beruhen, wobei sich der Messarm (24) und der Referenzarm (26) hinsichtlich ihrer Dispersion unterscheiden. Die Messdaten (36) umfassen ein Objektsignal und ein dem Objektsignal überlagertes Hintergrundsignal umfassen, wobei das Objektsignal und das Hintergrundsignal unterschiedlicher Dispersion unterliegen. Das Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Erhalten der Messdaten (36); Durchführen einer ersten Transformation, die ein Transformieren der Messdaten (36) umfasst, das auf das Hintergrundsignal gerichtet ist, wodurch ein Höhensignal (38) erhalten wird; Ermitteln von Hintergrundkomponenten in dem Höhensignal (38); Kompensieren der Hintergrundkomponenten in dem Höhensignal (38), wodurch ein hintergrundkompensiertes Höhensignal (40) erhalten wird; Durchführen einer Rücktransformation, die ein Rücktransformieren des hintergrundkompensierten Höhensignals (40) umfasst, wodurch hintergrundkompensierte Messdaten (42) erhalten werden; Durchführen eines Dispersionsausgleichs für das Objektsignal, wodurch dispersionskompensierte und hintergrundkompensierte Messdaten (43) erhalten werden; und Durchführen einer zweiten Transformation, die ein Transformieren der dispersionskompensierten und hintergrundkompensierten Messdaten (42) umfasst, wodurch ein dispersionskompensiertes und hintergrundkompensiertes Höhensignal (44) erhalten wird.Ferner betrifft die Erfindung eine Messvorrichtung (10), ein Bearbeitungssystem (12), Programmcode und ein Computerprogrammprodukt. A method, measuring device, machining system and computer program product are provided for determining a corrected height signal from measurement data obtained with optical coherence tomography. The measurement data comprises an object signal and a background signal superimposed on the object signal, the object signal and the background signal being subject to different dispersion. A first transformation is performed comprising transforming the measurement data, the first transformation being targeted at the background signal to obtain a height signal, background components in the height signal are determined, the background components in the height signal are compensated to obtain a background-compens