Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine sowie Verfahren zum Betreiben einer Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine

Die Erfindung betrifft eine Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine mit einer vorzugsweise ringförmigen ersten Arbeitsscheibe und einem vorzugsweise ringförmigen Gegenlagerelement, wobei die erste Arbeitsscheibe und das Gegenlagerelement mittels eines Drehantriebs relativ zueinander drehend antreibbar sind, und wobei zwischen der ersten Arbeitsscheibe und dem Gegenlagerelement ein vorzugsweise ringförmiger Arbeitsspalt zum doppelseitigen oder einseitigen Bearbeiten flacher Werkstücke, vorzugsweise Wafer, gebildet ist, wobei die Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine eine Mehrzahl von Sensoren umfasst, die während des Betriebs der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine Messdaten zu Maschinen- und/oder Bearbeitungsparametern der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine erfassen, wobei eine Steuereinrichtung vorgesehen ist, die im Betrieb der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine die durch die Sensoren erfassten Messdaten erhält, wobei die Steuereinrichtung ein künstliches neuronales Netz umfasst, das dazu ausgebildet ist, aus den Messdaten einen Zustandsvektor der Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine zu erstellen und diesen mit mindestens einem Soll-Zustandsvektor zu vergleichen. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Betreiben einer Doppel- oder Einseiten-Bearbeitungsmaschine. A double-sided or single-sided machine tool includes a first working disk and a counter-bearing element. The first working disk and the counter-bearing element can be driven rotationally relative to each other by means of a rotary drive. A working gap is formed between the first working disk and the counter-bearing element for the double-sided or single-sided machining of flat workpieces. The double-sided or single-sided machine tool comprises multiple sensors that record measurement data relating to tool and/or machining parameters of the double-sided or single-sided machine tool during operation. A control apparatus obtains the measurement data recorded by the sensors during operation. The control apparatus comprises an artificial neural network that is designed to create a state vector of the double-sided or single-sided machine tool from the measurement data and to compare said state vector with at least one target state vector.