Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung optischer Kohärenzmessungen für eine Überwachung eines Bearbeitungsprozesses eines Werkstücks

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Durchführung optischer Kohärenzmessungen für eine Überwachung eines Bearbeitungsprozesses eines Werkstücks (12). Das Verfahren umfasst ein Erzeugen mehrerer hochenergetischer Bearbeitungsstrahlen und/oder Bearbeitungsstrahlteile (18), die gemäß einem vorgegeb...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lessmüller, Eckhard, Truckenbrodt, Christian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS SOLDERING OR UNSOLDERING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Durchführung optischer Kohärenzmessungen für eine Überwachung eines Bearbeitungsprozesses eines Werkstücks (12). Das Verfahren umfasst ein Erzeugen mehrerer hochenergetischer Bearbeitungsstrahlen und/oder Bearbeitungsstrahlteile (18), die gemäß einem vorgegebenen Spotmuster (20) gleichzeitig auf mehrere Auftreffpunkte (22) richtbar sind, um eine Multispot-Bearbeitung des Werkstücks (12) durchzuführen, bei der das Spotmuster (20) relativ zu dem Werkstück (12) bewegt wird. Ferner umfasst das Verfahren ein Erzeugen eines Messstrahls (26) mittels eines optischen Kohärenztomographen (24), der wahlweise auf unterschiedliche Messpositionen (28) richtbar ist. Außerdem umfasst das Verfahren ein Festlegen eines Spotmusters (20), das wenigstens zwei unterschiedliche Auftreffpunkte (22) definiert. Des Weiteren umfasst das Verfahren ein Festlegen eines Koordinatensystems (30), wobei das Koordinatensystem (30) bezüglich des Spotmusters (20) ortsfest ist. Außerdem umfasst das Verfahren ein Einstellen einer Messposition (28) bezüglich des Koordinatensystems (30) während einer Multispot-Bearbeitung.