Verfahren und System zum Ausbilden einer Struktur in einem Werkstück durch selektives Laserätzen

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausbilden einer Struktur (1) in einem Werkstück (2) durch selektives Laserätzen.Bei der Struktur (1) handelt es sich um eine Hohlraumstruktur. Zur Ausbildung der Hohlraumstruktur wird ein wandernder Ätzraum (12) entlang eines Werkstück-Bearbeitung...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Eifel, Stephan, Ryll, Joachim, Holtkamp, Jens
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS SOLDERING OR UNSOLDERING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Ausbilden einer Struktur (1) in einem Werkstück (2) durch selektives Laserätzen.Bei der Struktur (1) handelt es sich um eine Hohlraumstruktur. Zur Ausbildung der Hohlraumstruktur wird ein wandernder Ätzraum (12) entlang eines Werkstück-Bearbeitungsbereichs (4) in das Werkstück (2) eingetrieben, nämlich durch Eintreiben eines Ätzvorrichtungskopfes (13) einer Ätzvorrichtung (9) samt der von diesem erzeugten Ätzmittelfront (10) in das Werkstück (2) entlang des Werkstück-Bearbeitungsbereichs (4) unter gleichzeitiger Ausbildung des wandernden Ätzraums (12) und eines die Hohlraumstruktur ausbildenden, rückwärtig zum Ätzraum (12) angeordneten Hohlraums (14), wobei die Ätzmittelfront (10) während des Eintreibens modifiziertes Werkstückmaterial (8) von einer wandernden Bearbeitungsfront (11) löst.Ein solches Verfahren ermöglicht eine Strukturausbildung in dem Werkstück (2) ohne Überätzungen oder nur mit einem geringen Maß an Überätzungen zu ermöglichen.