Prüfvorrichtung, Verfahren zur Prüfung eines Halbleitersubstrats, Verfahren zur Herstellung eines Halbleitersubstrats und Verfahren zur Herstellung einer Halbleitervorrichtung

Eine Prüfvorrichtung ist eine Prüfvorrichtung, die ein Halbleitersubstrat prüft. Die Prüfvorrichtung weist einen Tisch, einen ersten Ring und einen zweiten Ring auf. Eine erste Aussparung ist auf einer oberen Oberfläche des Tisches angeordnet. Die erste Aussparung weist in Draufsicht eine Ringform a...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Watabe, Shunichi, Matsumura, Tamio
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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