Geschlitzte Abschirmungen zur Verwendung mit einem elektrooptischen Phasenschieber
Strukturen, die einen elektrooptischen Phasenschieber umfassen, und Verfahren zur Herstellung einer Struktur mit einem elektrooptischen Phasenschieber. Die Struktur umfasst einen Wellenleiterkern auf einem Halbleitersubstrat und eine Verbindungsstruktur über dem Wellenleiterkern und dem Halbleitersu...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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