Geschlitzte Abschirmungen zur Verwendung mit einem elektrooptischen Phasenschieber

Strukturen, die einen elektrooptischen Phasenschieber umfassen, und Verfahren zur Herstellung einer Struktur mit einem elektrooptischen Phasenschieber. Die Struktur umfasst einen Wellenleiterkern auf einem Halbleitersubstrat und eine Verbindungsstruktur über dem Wellenleiterkern und dem Halbleitersubstrat. Der Wellenleiterkern umfasst einen Phasenschieber, und die Verbindungsstruktur umfasst eine geschlitzte Abschirmung und eine mit dem Phasenschieber verbundene Übertragungsleitung. Die geschlitzte Abschirmung umfasst Segmente, die durch Schlitze getrennt sind. Die geschlitzte Abschirmung ist zwischen der Übertragungsleitung und dem Substrat angeordnet. Structures including an electro-optical phase shifter and methods of fabricating a structure including an electro-optical phase shifter. The structure includes a waveguide core on a semiconductor substrate, and an interconnect structure over the waveguide core and the semiconductor substrate. The waveguide core includes a phase shifter, and the interconnect structure includes a slotted shield and a transmission line coupled to the phase shifter. The slotted shield includes segments that are separated by slots. The slotted shield is positioned between the transmission line and the substrate.