Verfahren, Steuervorrichtung, Speichermedium und Vakuumanordnung
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (500), aufweisen: Ansteuern (501) eines Pumpstandes (110), welcher eine erste Pumpstufe (110a) und eine dieser nachgeschaltete zweite Pumpstufe (110b) aufweist, gemäß einem ersten Pumpmodus, wenn ein Druck, dem der Pumpstand (110) eingangsseit...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren (500), aufweisen: Ansteuern (501) eines Pumpstandes (110), welcher eine erste Pumpstufe (110a) und eine dieser nachgeschaltete zweite Pumpstufe (110b) aufweist, gemäß einem ersten Pumpmodus, wenn ein Druck, dem der Pumpstand (110) eingangsseitig ausgesetzt ist, ein Vakuumdruck ist; Ansteuern (503) des Pumpstandes (110) gemäß einem zweiten Pumpmodus, wenn eine ermittelte Kenngröße, welche eine Veränderung des Drucks, die zumindest von der zweiten Pumpstufe (110b) bewirkt wird, repräsentiert, ein abgespeichertes erstes Kriterium erfüllt; wobei gemäß dem ersten Pumpmodus ein Verhältnis eines ersten Ist-Saugvermögens der ersten Pumpstufe (110a) zu einem zweiten Ist-Saugvermögen der zweiten Pumpstufe (110b) reduziert wird; und wobei gemäß dem zweiten Pumpmodus das Verhältnis vergrößert wird. |
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