Schall- oder Druckwandlervorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der...
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| Hauptverfasser: | , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Schlagworte: | |
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| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | Reinmuth, Jochen Jemili, Amin |
| description | Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) durch das Zwischensubstrat (10) erstreckenden Kavität (12), einer an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigten Statorelektrode (14), mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b), welche auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode (14) angeordnet ist, und einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22), wobei die Elektronikschicht (24) derart über eine Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt ist, dass die Elektronikschicht (24) die Kavität (12) überspannt. |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_DE102021213183A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>DE102021213183A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_DE102021213183A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZFAJTs5IzMnRVchPSS1ScCkqTc4uT8xLyUktKssvKspMzigpzUvnYWBNS8wpTuWF0twMqm6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXxLq6GBkYGRoZGhsaGFsaOhsbEqgMAVQwohA</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Schall- oder Druckwandlervorrichtung</title><source>esp@cenet</source><creator>Reinmuth, Jochen ; Jemili, Amin</creator><creatorcontrib>Reinmuth, Jochen ; Jemili, Amin</creatorcontrib><description>Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) durch das Zwischensubstrat (10) erstreckenden Kavität (12), einer an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigten Statorelektrode (14), mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b), welche auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode (14) angeordnet ist, und einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22), wobei die Elektronikschicht (24) derart über eine Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt ist, dass die Elektronikschicht (24) die Kavität (12) überspannt.</description><language>ger</language><subject>DEAF-AID SETS ; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ; ELECTRICITY ; LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS ; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS ; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2023</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20230525&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102021213183A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20230525&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102021213183A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Reinmuth, Jochen</creatorcontrib><creatorcontrib>Jemili, Amin</creatorcontrib><title>Schall- oder Druckwandlervorrichtung</title><description>Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) durch das Zwischensubstrat (10) erstreckenden Kavität (12), einer an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigten Statorelektrode (14), mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b), welche auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode (14) angeordnet ist, und einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22), wobei die Elektronikschicht (24) derart über eine Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt ist, dass die Elektronikschicht (24) die Kavität (12) überspannt.</description><subject>DEAF-AID SETS</subject><subject>ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS</subject><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</subject><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</subject><subject>PUBLIC ADDRESS SYSTEMS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2023</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZFAJTs5IzMnRVchPSS1ScCkqTc4uT8xLyUktKssvKspMzigpzUvnYWBNS8wpTuWF0twMqm6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXxLq6GBkYGRoZGhsaGFsaOhsbEqgMAVQwohA</recordid><startdate>20230525</startdate><enddate>20230525</enddate><creator>Reinmuth, Jochen</creator><creator>Jemili, Amin</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20230525</creationdate><title>Schall- oder Druckwandlervorrichtung</title><author>Reinmuth, Jochen ; Jemili, Amin</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102021213183A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2023</creationdate><topic>DEAF-AID SETS</topic><topic>ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS</topic><topic>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</topic><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</topic><topic>PUBLIC ADDRESS SYSTEMS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Reinmuth, Jochen</creatorcontrib><creatorcontrib>Jemili, Amin</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Reinmuth, Jochen</au><au>Jemili, Amin</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Schall- oder Druckwandlervorrichtung</title><date>2023-05-25</date><risdate>2023</risdate><abstract>Die Erfindung betrifft eine Schall- oder Druckwandlervorrichtung mit einem Zwischensubstrat (10) mit einer ersten Substratoberfläche (10a), einer von der ersten Substratoberfläche (10a) weg gerichteten zweiten Substratoberfläche (10a) und einer sich von der ersten Substratoberfläche (10a) bis zu der zweiten Substratoberfläche (10b) durch das Zwischensubstrat (10) erstreckenden Kavität (12), einer an oder über der ersten Substratoberfläche (10a) des Zwischensubstrats (10) befestigten Statorelektrode (14), mindestens einer verstellbaren oder verwölbbaren Aktorelektrode (16a, 16b), welche auf einer zu dem Zwischensubstrat (10) ausgerichteten Innenseite der Statorelektrode (14) und/oder auf einer von dem Zwischensubstrat (10) weg gerichteten Außenseite der Statorelektrode (14) angeordnet ist, und einer Elektronikschicht (24) mit mindestens einer darin ausgebildeten integrierten Schaltung (22), wobei die Elektronikschicht (24) derart über eine Bondverbindung (26) an der zweiten Substratoberfläche (10b) des Zwischensubstrats (10) befestigt ist, dass die Elektronikschicht (24) die Kavität (12) überspannt.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | ger |
| recordid | cdi_epo_espacenet_DE102021213183A1 |
| source | esp@cenet |
| subjects | DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS TRANSPORTING |
| title | Schall- oder Druckwandlervorrichtung |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-30T20%3A53%3A23IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=Reinmuth,%20Jochen&rft.date=2023-05-25&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EDE102021213183A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |