VERFAHREN, OPTISCHES SYSTEM UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE

Ein Verfahren zum Herstellen eines optischen Systems (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), mit den Schritten: a) Bereitstellen (S1) eines Elements (102), eines Anbauteils (110) und eines Entkopplungselements (116) des optischen Systems (100), b) Fügen (S2) des Entkopplungselements (116) m...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Schaffer, Dirk
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein Verfahren zum Herstellen eines optischen Systems (100) für eine Projektionsbelichtungsanlage (1), mit den Schritten: a) Bereitstellen (S1) eines Elements (102), eines Anbauteils (110) und eines Entkopplungselements (116) des optischen Systems (100), b) Fügen (S2) des Entkopplungselements (116) mit dem Element (102) mit Hilfe einer ersten Verbindung (122), und c) Fügen (S3) des Entkopplungselements (116) mit dem Anbauteil (110) mit Hilfe einer sich von der ersten Verbindung (122) unterscheidenden zweiten Verbindung (124).