Verfahren zu einer Herstellung eines Sensorelements zu einer Erfassung einer mechanischen Kenngröße, Sensorelement, Sensoreinheit, Handwerkzeugmaschine, Befestigungselement und Handwerkzeugmaschinenzubehör
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zu einer Herstellung eines Sensorelements (10a; 10b) zu einer Erfassung einer mechanischen Kenngröße, insbesondere einer mechanischen Spannung, Kraft und/oder Dehnung, wobei in einem Verfahrensschritt (12a; 12b) ein das Sensorelement (10a; 10b) bildendes Sc...
Gespeichert in:
Hauptverfasser: | , , , , |
---|---|
Format: | Patent |
Sprache: | ger |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext bestellen |
Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
Zusammenfassung: | Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zu einer Herstellung eines Sensorelements (10a; 10b) zu einer Erfassung einer mechanischen Kenngröße, insbesondere einer mechanischen Spannung, Kraft und/oder Dehnung, wobei in einem Verfahrensschritt (12a; 12b) ein das Sensorelement (10a; 10b) bildendes Schichtsystem (14a; 14b), welches die, insbesondere alle, für die Bildung des Sensorelements (10a; 10b) relevante/n Schicht/en (16a; 16b, 18a, 20a, 22a) aufweist, umfassend zumindest eine Kohlenstoffschicht (16a; 16b), insbesondere eine diamantartige Kohlenstoffschicht, auf eine Oberfläche (24a; 24b) eines Grundkörpers (26a; 26b) des Sensorelements (10a; 10b) aufgebracht wird.Es wird vorgeschlagen, dass das Schichtsystem (14a; 14b) zumindest im Wesentlichen unterbrechungsfrei in einem Vakuum auf die Oberfläche (24a; 24b) des Grundkörpers (26a; 26b) aufgebracht wird. |
---|