AKTUATOR-SENSOR-VORRICHTUNG UND LITHOGRAPHIEANLAGE

AKTUATOR-SENSOR-VORRICHTUNG UND LITHOGRAPHIEANLAGE

Eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung (200) für ein Optikmodul (20, 22) einer Lithographieanlage (1), umfassend:eine Aktuator-Sensor-Einheit (300) mit einem Aktuator (301) und einem Sensor (302);eine Steuereinheit (400), die mit der Aktuator-Sensor-Einheit (300) elektrisch verbunden ist; undein Trageleme...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Auner, Holger, Mützel, Mario, Seitz, Stefan, Krone, Stefan, Torres da Silva, Philipp, Kunze, Kai, Linzmayer, Petra, Lange, Waldemar
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
CINEMATOGRAPHY
ELECTROGRAPHY
HOLOGRAPHY
MATERIALS THEREFOR
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
OPTICS
ORIGINALS THEREFOR
PHOTOGRAPHY
PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES
PHYSICS
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Beschreibung
Zusammenfassung:Eine Aktuator-Sensor-Vorrichtung (200) für ein Optikmodul (20, 22) einer Lithographieanlage (1), umfassend:eine Aktuator-Sensor-Einheit (300) mit einem Aktuator (301) und einem Sensor (302);eine Steuereinheit (400), die mit der Aktuator-Sensor-Einheit (300) elektrisch verbunden ist; undein Tragelement (500), das an einer ersten Tragseite (501) desselben die Aktuator-Sensor-Einheit (300) und an einer zweiten Tragseite (502) desselben die Steuereinheit (400) trägt, wobei die zweite Tragseite (502) der ersten Tragseite (501) gegenüberliegt. An actuator-sensor device for an optics module of a lithography apparatus comprises: an actuator-sensor unit having an actuator and a sensor; a control unit electrically connected to the actuator-sensor unit; and a support element which on a first supporting side of same supports the actuator-sensor unit and which on a second supporting side of same supports the control unit, with the second supporting side being opposite to the first supporting side.