Aktor-Sensor-System und Fast Steering Mirror (FSM)

Ein Aktor-Sensor-System zur geregelten Ab- oder Umlenkung elektromagnetischer Strahlung in mindestens einer Achse (9), mit einem Aktor (5) zur mechanischen Verstellung eines Umlenkelements (10), und mit einem Messelement (2) zur Erfassung der Position des Umlenkelements (10), ist dadurch gekennzeich...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Schallmoser, Günter, Haas, Harald, Hoenicka, Reinhold, Schopf, Tobias
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Ein Aktor-Sensor-System zur geregelten Ab- oder Umlenkung elektromagnetischer Strahlung in mindestens einer Achse (9), mit einem Aktor (5) zur mechanischen Verstellung eines Umlenkelements (10), und mit einem Messelement (2) zur Erfassung der Position des Umlenkelements (10), ist dadurch gekennzeichnet, dass das Messelement (2) aus einem flachen Substrat (3) besteht, welches mindestens ein Sensorelement (4) umfasst. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Fast Steering Mirror (FSM). An actuator-sensor system for controlled diverting or deflecting of electromagnetic radiation in at least one axis (9), with an actuator (5) for mechanically moving a deflecting element (10) and with a measuring element (2) for sensing the position of the deflecting element (10), where the measuring element (2) includes a flat substrate (3) having at least one sensor element (4). Furthermore, the present disclosure relates to a fast steering mirror (FSM).