Mikromechanischer kapazitiver Sensor

Mikromechanischer kapazitiver Sensor (100) aufweisend:- eine MEMS-Einrichtung (10) aufweisend:- ein erstes kapazitives Sensorelement (11);- ein zweites kapazitives Sensorelements (12);- eine Auswertungseinrichtung (20), mittels derer die wenigstens zwei kapazitiven Sensorelemente (11, 12) mit jeweil...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Becker, Steffen, Reinmuth, Jochen, Jemili, Amin
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS TESTING TRANSPORTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Mikromechanischer kapazitiver Sensor (100) aufweisend:- eine MEMS-Einrichtung (10) aufweisend:- ein erstes kapazitives Sensorelement (11);- ein zweites kapazitives Sensorelements (12);- eine Auswertungseinrichtung (20), mittels derer die wenigstens zwei kapazitiven Sensorelemente (11, 12) mit jeweils einer definierten Trägerfrequenz (f1, f2) antreibbar sind; und- wenigstens eine gemeinsame Ausleseelektrode (13, 14), die mit den kapazitiven Sensorelementen (11, 12) zusammenwirkbar ausgebildet ist, um elektrische Ladungsverschiebungen auf der wenigstens einen gemeinsamen Ausleseelektrode (13, 14) zu erfassen, wobei mittels des ersten kapazitiven Sensorelements (11) eine erste Messgröße und mittels des zweiten kapazitiven Sensorelements (12) eine zweite Messgröße messbar ist.