SCHNEIDVORRICHTUNG UND SCHNEIDVERFAHREN

Eine Schneidvorrichtung beinhaltet einen Haltetisch, der zumindest an einem Teil einer Halteoberfläche einen transparenten Abschnitt aufweist, der ein transparentes Element beinhaltet und der ein Werkstück hält, eine Schneideinheit, die eine Schneidklinge beinhaltet, die das Werkstück, das durch den...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hanajima, Satoshi, Nakama, Jun
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Eine Schneidvorrichtung beinhaltet einen Haltetisch, der zumindest an einem Teil einer Halteoberfläche einen transparenten Abschnitt aufweist, der ein transparentes Element beinhaltet und der ein Werkstück hält, eine Schneideinheit, die eine Schneidklinge beinhaltet, die das Werkstück, das durch den Haltetisch gehalten ist, schneidet, und eine Schneidwasserdüse, die Schneidwasser während einem Schneiden des Werkstücks durch die Schneidklinge zuführt, eine Aufnahmekamera, die das Werkstück durch den transparenten Abschnitt aufnimmt, und eine Entfernungseinheit, die eine Flüssigkeit entfernt, die in dem transparenten Abschnitt anhaftet. Die Entfernungseinheit beinhaltet ein Kontaktelement, das an einer Kontaktposition, um in Kontakt mit dem transparenten Abschnitt zu kommen, und einer zurückgezogenen Position positioniert ist, und eine X-Achsen-Bewegungseinheit, die relativ das Kontaktelement, das Kontakt mit dem transparenten Abschnitt ist, an dem transparenten Abschnitt bewegt. A cutting apparatus includes a holding table that has at at least a part of a holding surface a transparent section including a transparent member and that holds a workpiece, a cutting unit including a cutting blade that cuts the workpiece held by the holding table, and a cutting water nozzle that supplies cutting water during cutting of the workpiece by the cutting blade, an imaging camera that images the workpiece through the transparent section, and a removing unit that removes a liquid adhered to the transparent section. The removing unit includes a contact member positioned at a contact position for making contact with the transparent section and a retracted position, and an X-axis moving unit that relatively moves on the transparent section the contact member making contact with the transparent section.