Analysesystem, Analyseverfahren, Computerprogrammprodukt und Probenhalter

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Analysesystem (1), ein Analyseverfahren und einen Probenhalter (301), welche es ermöglichen, eine Batterie (2) mittels eines Teilchenstrahlsystems (100) zu analysieren, insbesondere Bilder der Batterie (2) mit dem Teilchenstrahlsystem (100) aufzunehmen, während die Batterie (2) in einer Vakuumkammer (111) des Teilchenstrahlsystems (100) angeordnet ist und in der Vakuumkammer (111) gemäß einer Vielzahl unterschiedlicher Parameterwertesätze manipuliert wird. Beispielsweise wird die Batterie (2) bei einer vordefinierten Temperatur gehalten, ein vordefinierter Druck wird auf die Batterie (2) ausgeübt und die Batterie (2) wird nach einem Belastungsschema elektrisch aufgeladen und entladen und gleichzeitig werden Bilder der Batterie (2) mit dem Teilchenstrahlsystem (100) aufgenommen. An analysis system, an analysis method and a sample holder make it possible to analyse a battery via a particle beam system, for example to record images of the battery via the particle beam system, while the battery is arranged in a vacuum chamber of the particle beam system and is manipulated according to a multiplicity of different parameter value sets in the vacuum chamber. By way of example, the battery is kept at a predefined temperature, a predefined pressure is exerted on the battery, and the battery is electrically charged and discharged according to a loading scheme and at the same time images of the battery are recorded via the particle beam system.