Messvorrichtung für ein Bearbeitungssystem, Bearbeitungssystem und Verfahren zum Einstellen einer Messvorrichtung für ein Bearbeitungssystem

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) für ein Bearbeitungssystem (12) zum Bearbeiten eines Werkstücks (14) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (16). Die Messvorrichtung (10) umfasst eine Strahlerzeugungseinheit (18), die dazu eingerichtet ist, einen Messstrahl (20) und ein...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lessmüller, Eckhard, Truckenbrodt, Christian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING MACHINE TOOLS MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS PHYSICS SOLDERING OR UNSOLDERING TESTING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) für ein Bearbeitungssystem (12) zum Bearbeiten eines Werkstücks (14) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (16). Die Messvorrichtung (10) umfasst eine Strahlerzeugungseinheit (18), die dazu eingerichtet ist, einen Messstrahl (20) und einen Referenzstrahl (22) zu erzeugen, die zur Durchführung optischer Interferenzmessungen wie optischer Kohärenztomographie zur Interferenz bringbar sind; einen an die Strahlerzeugungseinheit (18) optisch angebundenen Messarm (24), in dem der Messstrahl (20) optisch geführt ist, sodass dieser auf das Werkstück (14) projizierbar und/oder fokussierbar ist; einen an die Strahlerzeugungseinheit (18) optisch angebundenen Referenzarm (26), in dem der Referenzstrahl (22) optisch geführt ist; und eine Weglängeneinstelleinheit (28), die dazu eingerichtet ist, eine optische Weglänge des Referenzarms (26) einzustellen. Die Weglängeneinstelleinheit (28) umfasst ein zwischen unterschiedlichen Einstellpositionen (30, 32) entlang einer Einstellbahn (34) verlagerbares Einstellelement (36), dessen Verlagerung zwischen unterschiedlichen Einstellpositionen (30, 32) zu einer Änderung der optischen Weglänge des Referenzarms (26) führt; und einen Encoder (38), der entlang der Einstellbahn (34) mit dem Einstellelement (36) gekoppelt ist, wobei der Encoder (38) dazu eingerichtet ist, ein Encodersignal zu erzeugen, das Information über eine aktuelle Einstellposition (30, 32) des Einstellelements (36) enthält. Die Messvorrichtung umfasst ferner eine Steuereinheit (40), die dazu eingerichtet ist, eine aktuelle Einstellposition (30, 32) des Einstellelements (36) und/oder eine aktuelle optische Weglänge des Referenzarms (26) zumindest nach Maßgabe des Encodersignals zu bestimmen.Die Erfindung betrifft zudem ein Bearbeitungssystem (12) mit einer Messvorrichtung (10) sowie ein Verfahren zum Einstellen einer Messvorrichtung (10)