Magnetron-Targetkupplung und Lagervorrichtung

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen weist eine Magnetron-Targetkupplung (301) auf: einen Targetkupplung-Flansch (702); eine Welle (808), welche stirnseitig mit dem Targetkupplung-Flansch (702) starr gekuppelt ist, und auf einer dem Targetkupplung-Flansch (702) gegenüberliegenden Seite ein erste Linearlager-Komponente (808l) aufweist; eine Kommunikationsschnittstelle (704), welche eine erste Kommunikationselektrode (704a) und eine zweite Kommunikationselektrode (704b) aufweist, welche elektrisch miteinander gekoppelt sind; wobei die zweite Kommunikationselektrode (704b) auf einer der Welle (808) gegenüberliegenden Seite starr an dem Targetkupplung-Flansch (702) befestigt ist, wobei der Targetkupplung-Flansch (702) zwischen der ersten Kommunikationselektrode (704a) und der zweiten Kommunikationselektrode (704b) angeordnet ist; wobei die erste Kommunikationselektrode (704a) derart gelagert ist, dass dieses zu der zweiten Kommunikationselektrode (704b) hin und/oder von diesem weg verschoben werden kann. Disclosed herein are devices, methods, and systems related to a magnetron-target coupling that includes a target coupling flange, a shaft fixedly coupled to the target coupling flange on a face opposite the target coupling flange, and having a first linear bearing component on a face opposite the target coupling flange. The magnetron-target coupling also includes a communication interface having a first communication electrode and a second communication electrode that are electrically coupled to each other wherein the second communication electrode is fixedly attached to the target coupling flange on a side opposite the shaft, the target coupling flange being disposed between the first communication electrode and the second communication electrode. The first communication electrode is supported such that it may be moved toward and/or away from the second communication electrode.