Gasversorgungsstruktur und Prozessiervorrichtung
Gasversorgungsstruktur (351), aufweisend: einen Prozessschild (402), welcher einen fluiddurchlässigen Abschnitt (352) aufweist; eine Gasversorgungsvorrichtung (156), welche mittels eines Spalts (356) räumlich von dem Prozessschild (402) separiert ist und zumindest einen Gasauslass (156d) zum Versorg...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Gasversorgungsstruktur (351), aufweisend: einen Prozessschild (402), welcher einen fluiddurchlässigen Abschnitt (352) aufweist; eine Gasversorgungsvorrichtung (156), welche mittels eines Spalts (356) räumlich von dem Prozessschild (402) separiert ist und zumindest einen Gasauslass (156d) zum Versorgen des Abschnitts (352) mit Gas aufweist; wobei der Spalt (356) den zumindest einen Gasauslass (156d) und den Abschnitt (352) fluidleitend miteinander koppelt; eine federelastische Gasführungsstruktur (358), welche an den Spalt (356) angrenzt und den Prozessschild (402) sowie die Gasversorgungsvorrichtung (156) berührt. |
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