Messvorrichtung, Bearbeitungssystem und Verfahren zum Einstellen einer Messvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (10) für ein Bearbeitungssystem (12) zum Bearbeiten eines Werkstücks (14) mittels eines hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (16). Die Messvorrichtung (10) umfasst eine Strahlerzeugungseinheit (18), die dazu eingerichtet ist, einen Messstrahl (20) und einen Referenzstrahl (22) zu erzeugen, die zur Durchführung optischer Interferenzmessungen zur Interferenz bringbar sind; einen an die Strahlerzeugungseinheit (18) optisch angebundenen Messarm (24), in dem der Messstrahl (20) optisch geführt ist, sodass dieser auf das Werkstück (14) projizierbar ist; einen an die Strahlerzeugungseinheit (18) optisch angebundenen Referenzarm (26), in dem der Referenzstrahl (22) optisch geführt ist; sowie eine Messschnittstelle (28), über die der Messstrahl (20) in den Bearbeitungsstrahl (16) einkoppelbar ist. Die Messvorrichtung (10) umfasst ein Basismodul (30) und ein daran anschließbares oder angeschlossenes Wechselmodul (32). Das Basismodul (30) umfasst einen Anfangsabschnitt (38) des Referenzarms (26), der an die Strahlerzeugungseinheit (18) angebunden ist und optische Komponenten (40) zur Führung des Referenzstrahls (22) umfasst, sowie einen Endabschnitt (42) des Referenzarms (26), der optische Komponenten (44) zur Führung des Referenzstrahls (22) einschließlich eines Reflektors (46) umfasst, an dem der Referenzstrahl (22) reflektiert und zur Strahlerzeugungseinheit (18) zurück geführt wird, wenn er den Referenzarm (26) einmal durchlaufen hat. Das Wechselmodul (32) umfasst einen Strahlführungsabschnitt (48), der optische Komponenten (50) zur Führung des Referenzstrahls (22) umfasst und der dazu eingerichtet ist, einen Mittelabschnitt (52) des Referenzarms (26) ausbilden, indem er den Anfangsabschnitt (38) des Referenzarms (26) optisch an den Endabschnitt (42) des Referenzarms (26) anbindet, wenn das Wechselmodul (32) an das Basismodul (30) angeschlossen ist.Die Erfindung betrifft ferner ein System mit einer Messvorrichtung (12) und mehreren Wechselmodulen (32, 32', 32"), ein Bearbeitungssystem (12) und ein Verfahren zum Einstellen einer Messvorrichtung (10). The invention relates to a measuring device (10; 10a) for a machining system (12; 12a) for machining a workpiece (14; 14a) by means of a high-energy machining beam (16; 16a), the measuring device (10; 10a) comprising: a beam generating unit (18; 18a) configured to generate a measurement beam (20; 20a) and a reference beam (22; 22a) which can be made to interfere for the pur