Magnetron-Magnetsystem und Magnetron

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetron-Magnetsystem (150) aufweisen: einen Außenpol (1002), welcher entlang eines in sich geschlossenen Pfades (251) erstreckt ist und zwei längserstreckte Abschnitte aufweist; und einen Innenpol (1004), welcher zwischen den zwei längserstreckten Abs...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Nyderle, Roman, Mosshammer, Steffen, Dimer, Martin, Rank, Rolf, Weichsel, Tim, Langer, Martin
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetron-Magnetsystem (150) aufweisen: einen Außenpol (1002), welcher entlang eines in sich geschlossenen Pfades (251) erstreckt ist und zwei längserstreckte Abschnitte aufweist; und einen Innenpol (1004), welcher zwischen den zwei längserstreckten Abschnitten angeordnet ist; einen den Innenpol (1004) fortsetzenden und/oder auf einer Stirnseite des Innenpols (1004) angeordneten magnetischen Polkörper (304), welcher zwischen den zwei längserstreckten Abschnitten angeordnet ist; eine Lagervorrichtung (116), mittels welcher der Polkörper (304) beweglich relativ zu dem Außenpol (1002) und dem Innenpol (1004) gelagert ist.