OCT-Messvorrichtung und OCT-Messverfahren

Die OCT-Messvorrichtung 1 in dieser beispielhaften Ausführungsform umfasst: eine Wellenlängen-Durchstimmung-Lichtquelle 2, die Licht mit einer durchgestimmten Wellenlänge emittiert; ein optisches Interferometer 9, das das Licht in ein Messlicht 18 und ein Referenzlicht 19 teilt, das Messlicht 18 zu der Messfläche 21 des Messzielobjekts 20 emittiert und ein Optische-Interferenz-Intensitätssignal erzeugt, das die Intensität einer Interferenz zwischen dem von der Messfläche 21 reflektierten Messlicht 18 und dem Referenzlicht 19 angibt; ein elektrooptisches Element 17, das ein Phasenmodulator ist, der in einem Lichtpfad des optischen Interferometers 9 angeordnet ist; einen Messprozessor 3, der ein Signalerzeuger ist, der eine Position einer Messfläche 21 ableitet und ein Phasengrößen-Indikatorsignal, das eine Phasengröße des Phasenmodulators 17 angibt, basierend auf dem Optische-Interferenz-Intensitätssignal erzeugt; und eine Elektrooptisches-Element-Steuereinrichtung 6, die eine Phasengrößensteuereinrichtung ist, die die zu dem durch den Phasenmodulator 17 übertragenen Licht gegebene Phasengröße steuert. OCT measuring device in the present exemplary embodiment includes: wavelength sweep light source that emits light of which a wavelength is swept; optical interferometer that divides the light into measurement light and reference light, emits measurement light toward measurement surface of measuring target object, and generates an optical interference intensity signal indicating an intensity of interference between measurement light reflected from measurement surface and reference light; electro-optic element which is a phase modulator arranged in a light path of optical interferometer; measurement processor which is a signal generator that derives a position of measurement surface and generates a phase amount indicator signal that indicates a phase amount of phase modulator based on the optical interference intensity signal; and electro-optic element controller which is a phase amount controller that controls the phase amount given to the light that is transmitted through phase modulator.