Vorrichtung zur Strukturüberwachung einer Oberfläche

Vorrichtung zur Strukturüberwachung (1) einer mit der Vorrichtung beaufschlagbaren Oberfläche (2), umfassend eine Trägerschicht (3) und ein Signalverarbeitungsmittel (7A, 7B), wobei die Trägerschicht (3) mit elektrischen Leiterbahnen (4) beaufschlagt ist, das Signalverarbeitungsmittel (7A,7B) zur Üb...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Tichelmann, Patrick
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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