Hohlkathodensystem zum Erzeugen eines Plasmas und Verfahren zum Betreiben eines solchen Hohlkathodensystems

Hohlkathodensystem zum Erzeugen eines Plasmas, umfassend mindestens ein Kathodenröhrchen (11a; 11b), eine Anodeneinrichtung (13), eine Stromversorgungseinrichtung (14) zum Bereitstellen einer zwischen dem Kathodenröhrchen (11 a; 11b) und der Anodeneinrichtung (13) geschalteten elektrischen Spannung und mindestens ein Gasreservoir (15) zum Bereitstellen eines das Kathodenröhrchen (11 a; 11b) durchströmenden Gases, wobei mindestens zwei Kathodenröhrchen (11a; 11b), elektrisch leitfähig miteinander verbunden sind und wobei jedem Kathodenröhrchen (11a; 11b) ein separates Stellglied (17a; 17b) zugeordnet ist, mittels dessen die Menge des Gases, welches das dem Stellglied (17a; 17b) zugeordnete Kathodenröhrchen (11a; 11b) durchströmt, einstellbar ist, und wobei die Rohrachsen (12a; 12b) der mindestens zwei Kathodenröhrchen (11a; 11b) parallel zueinander ausgerichtet sind oder einen Winkel von maximal 5° zueinander aufweisen und benachbarte Kathodenröhrchen (11a; 11b) einen Abstand von maximal 20 mm zueinander aufweisen. A hollow cathode system generates a plasma. The system includes an anode device, a power supply for applying an electric current between a cathode tube and the anode device, and at least one gas reservoir for supplying the gas flowing through the cathode tube are used, in which at least two cathode tubes are used that are electrically connected to one another, and in which each cathode tube has a separate actuator with which the amount of gas flowing through the respective cathode tube is set.