Drucksensoranordnung und Herstellungsverfahren für die Drucksensoranordnung
Die Erfindung betrifft eine Drucksensoranordnung (10) zur Messung des Drucks eines Fluids, wobei die Drucksensoranordnung (10) umfasst: mindestens eine Drucksensorvorrichtung (24); einen Druckanschluss (12) mit mindestens einem Fluidkanal (18) zum Verbinden eines Volumens eines zu messenden Fluids m...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Die Erfindung betrifft eine Drucksensoranordnung (10) zur Messung des Drucks eines Fluids, wobei die Drucksensoranordnung (10) umfasst: mindestens eine Drucksensorvorrichtung (24); einen Druckanschluss (12) mit mindestens einem Fluidkanal (18) zum Verbinden eines Volumens eines zu messenden Fluids mit der mindestens einen Drucksensorvorrichtung (24); mindestens ein Gehäuseelement (14), das hermetisch abdichtend an dem Druckanschluss (12) befestigt ist, wobei das mindestens eine Gehäuseelement (14) einen elektrischen Anschlussabschnitt (15) zum Anschluss an ein dem Druckanschluss (12) gegenüberliegendes elektrisches Anschlussmodul (16) aufweist, wobei mindestens ein Wandelement (32) mindestens eine hermetische Durchführung (34) mindestens einer Signalleitung (36) aufweist, wobei die mindestens eine Signalleitung (36) mit der mindestens einen Drucksensorvorrichtung (24) elektrisch verbunden ist und an dem mindestens einen Gehäuseelement (14) zwischen dem elektrischen Anschlussabschnitt (15) und dem Druckanschluss (12) hermetisch abdichtend befestigt ist, so dass der Druckanschluss (12), das mindestens eine Gehäuseelement (14) und das mindestens eine Wandelement (32) eine hermetisch dichte und EMV-geschirmte Sensorkammer (46) einschließen, wobei die mindestens eine Drucksensorvorrichtung (24) in der Sensorkammer (46) angeordnet ist. Die Erfindung stellt eine Drucksensoranordnung (10) bereit, die mit reduzierten Kosten, verbessertem Korrosionsschutz und verbesserter EMV-Abschirmung hergestellt werden kann.
A pressure sensor apparatus for measuring a pressure of a fluid comprises: at least one pressure sensor device; a pressure port having at least one fluid channel for connecting a volume of fluid to be measured to the at least one pressure sensor device; at least one housing element attached in a hermetically sealed manner to the pressure port, the at least one housing element comprising an electrical connector portion for connection to an electrical connector module opposite the pressure port; at least one wall element comprising at least one gas-tight feedthrough of at least one signal line electrically connected to the at least one pressure sensor device and attached to the at least one housing element in a gas-tight manner between the electrical connector portion and the pressure port, the at least one housing element and the at least one wall element are arranged such that the pressure port, the at least one housing element and the at least one wall elem |
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