Magnetsystem

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetsystem (100) für ein Magnetron aufweisen: eine Vielzahl mehrpoliger Segmente (114, 116) zum Bereitstellen eines Magnetfeldes (120), welche entlang einer Längserstreckung hintereinander angeordnet sind und welche zwei erste Segmente (116) und zwisc...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Rank, Rolf, Langer, Martin
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Magnetsystem (100) für ein Magnetron aufweisen: eine Vielzahl mehrpoliger Segmente (114, 116) zum Bereitstellen eines Magnetfeldes (120), welche entlang einer Längserstreckung hintereinander angeordnet sind und welche zwei erste Segmente (116) und zwischen diesen mehrere zweite Segmente (114) aufweisen; ein Stellglied (106), welches eingerichtet ist, die mehreren zweiten Segmente (114) relativ zueinander zu bewegen; wobei jedes Segment der mehreren zweiten Segmente (114) einen oder mehr als einen Magnetpol (404a, 404i) aufweist, wovon jeder Magnetpol: von einem ersten Rand des Segments entlang der Längserstreckung zu einem zweiten Rand des Segments erstreckt ist; ein magnetisches Modulationsglied (702) aufweist, welches eingerichtet ist, das Magnetfeld (120) derart zu modulieren, dass dieses in Richtung zu dem Modulationsglied hin gedämpft wird; wobei das Modulationsglied (702) im Wesentlichen mittig zwischen dem ersten Rand und dem zweiten Rand angeordnet ist.