Sensoranordnung und Verfahren zum Erfassen einer Menge oder einer Konzentration eines Zielfluids in einem Medium mit der Sensoranordnung

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist eine Sensoranordnung eine erste Mikropumpe, z.B. eine Mikrofluid- oder Peristaltikpumpe, die ein normalerweise geschlossenen (NC-) Sicherheitsventil, z.B. an dem Mikropumpenausgang, aufweist, eine zweite Mikropumpe, z.B. eine Mikrofluid- oder Peristaltikpumpe, die ein normalerweise geschlossenen (NC-) Sicherheitsventil, z.B. an dem Mikropumpenausgang, aufweist, und einen Sensor, der eine Sensorkammer, z.B. einen Sensorhohlraum oder Sensorvolumen, mit einem Sensorelement, z.B. einer aktiven empfindlichen Region oder Schicht, in der Sensorkammer aufweist, wobei der Sensor dazu ausgebildet ist, ein Sensorausgangssignal auf Basis einer Bedingung des Fluids, z.B. eines Gases oder einer Flüssigkeit, in der Sensorkammer bereitzustellen. Die Sensorkammer des Sensors ist fluidisch zwischen die erste und die zweite Mikropumpe gekoppelt, und die erste und die zweite Mikropumpe sind dazu ausgebildet, einen definierten Betriebsmodus der Sensoranordnung auf Basis der jeweiligen Aktivierung oder Betriebsbedingung der ersten und der zweiten Mikropumpe zum Bereitstellen (1) eines definierten negativen Fluiddrucks in der Sensorkammer, (2) eines definierten positiven Fluiddrucks in der Sensorkammer oder (3) eines definierten Fluidstroms, z.B. Fluiddurchsatzes, durch die Sensorkammer bereitzustellen. According to an embodiment, a sensor arrangement comprises a first micropump, e.g. a microfluidic or peristaltic pump, having a normally closed (NC) safety valve, e.g. at the micropump output, a second micropump, e.g. microfluidic or peristaltic pump, having a normally closed (NC) safety valve, e.g. at the micropump output, and a sensor having a sensor chamber, e.g. a sensor cavity or sensor volume, with a sensor element, e.g. an active sensitive region or layer, in the sensor chamber, wherein the sensor is configured to provide a sensor output signal based on a condition of the fluid, e.g. a gas or liquid, in the sensor chamber. The sensor chamber of the sensor is fluidically coupled between the first and second micropump, and the first and second micropump are configured to provide a defined operation mode of the sensor arrangement based on the respective activation or operation condition of the first and second micropump for providing (1.) a defined negative fluid pressure in the sensor chamber, (2.) a defined positive fluid pressure in the sensor chamber or (3.) a defined fluid flow, e.g. fluid throughput, through the sensor chamber.