Kalibriervorrichtung, Bearbeitungssystem und Kalibrierverfahren

Unter Vornahme einer Zusammenschau aller Figuren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (10) zum Kalibrieren mehrerer optischer Werkzeuge einer Bearbeitungsmaschine auf eine gemeinsame Fokuslage. Die Vorrichtung (10) weist Lichtsensoren (60, 62) und Lichtquellen (56, 58) zum Erfassen und zum Abgebe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Schmitt, Klemens, Stambke, Martin, Notheis, Thomas, Ehrmann, Patrick
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Unter Vornahme einer Zusammenschau aller Figuren betrifft die Erfindung eine Vorrichtung (10) zum Kalibrieren mehrerer optischer Werkzeuge einer Bearbeitungsmaschine auf eine gemeinsame Fokuslage. Die Vorrichtung (10) weist Lichtsensoren (60, 62) und Lichtquellen (56, 58) zum Erfassen und zum Abgeben von Licht (38) durch eine Blendenöffnung (14) einer Blende auf. Ferner betrifft die Erfindung ein Bearbeitungssystem mit einer solchen Vorrichtung (10) und mehreren optischen Werkzeugen. Schließlich betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Kalibrieren von lichtemittierenden und lichtdetektierenden optischen Werkzeugen mittels einer solchen Vorrichtung (10). A calibration apparatus for a processing system with a plurality of optical tools is provided. The calibration apparatus includes a housing with a stop aperture, a sensor arrangement for capturing light that is incident through the stop aperture, and a light source arrangement for emitting light through the stop aperture.