Messverfahren und Messanordnung zur Ermittlung der Position und/oder Orientierung eines optischen Elements, sowie Projektionsbelichtungsanlage

Die Erfindung betrifft ein Messverfahren zur Ermittlung der Position und/oder Orientierung eines optischen Elements (2). Es ist wenigstens eine primäre Sensoreinrichtung (9) vorgesehen, die einen von dem optischen Element (2) beabstandeten Primärsensor (14) und ein dem Primärsensor (14) zugeordnetes...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Nefzi, Marwene
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Messverfahren zur Ermittlung der Position und/oder Orientierung eines optischen Elements (2). Es ist wenigstens eine primäre Sensoreinrichtung (9) vorgesehen, die einen von dem optischen Element (2) beabstandeten Primärsensor (14) und ein dem Primärsensor (14) zugeordnetes, mittels einer stoffschlüssigen Verbindung (8) an dem optischen Element (2) befestigtes primäres Messtarget (7) aufweist. Die primäre Sensoreinrichtung (9) erfasst eine primäre Ist-Distanz (LIST,P) zwischen dem Primärsensor (14) und dem primären Messtarget (7). Weiter ist wenigstens eine sekundäre Sensoreinrichtung (11) vorgesehen, die einen von dem optischen Element (2) beabstandeten Sekundärsensor (15) und ein dem Sekundärsensor (15) zugeordnetes, mittels einer stoffschlüssigen Verbindung (8) an dem optischen Element (2) befestigtes sekundäres Messtarget (10) aufweist. Die sekundäre Sensoreinrichtung (9) erfasst eine sekundäre Ist-Distanz (LIST,S) zwischen dem Sekundärsensor (15) und dem sekundären Messtarget (10). Ferner ist eine Steuereinrichtung (16) vorgesehen, die von den Sensoreinrichtungen (9, 11) erfassten Ist-Distanzen (LIST,P, LIST,S) miteinander abgleicht, um eine parasitäre Targetbewegung des wenigstens einen primären Messtargets (7) und des wenigstens einen sekundären Messtargets (10) zu bestimmen. Die Steuereinrichtung (16) berechnet außerdem die Position und/oder Orientierung des optischen Elements (2) anhand der wenigstens einen erfassten primären Ist-Distanz (LIST,P) der wenigstens einen primären Sensoreinrichtung (9) unter Berücksichtigung der parasitären Targetbewegung.