Baugruppe eines optischen Systems für die Mikrolithographie

Die Erfindung betrifft eine Baugruppe eines optischen Systems für die Mikrolithographie, mit einer ersten Komponente (130) und einer zweiten Komponente (160), wobei die erste Komponente (130) und die zweite Komponente (160) im Betrieb des optischen Systems voneinander unabhängige Funktionalitäten besitzen, welche jeweils mit einer Abgabe parasitärer Wärme einhergehen, und einer Kühleinheit mit wenigstens einem von einem Kühlfluid durchströmbaren Kanalsystem (150), wobei dieses Kanalsystem (150) derart konfiguriert ist, dass das im Kanalsystem (150) strömende Kühlfluid im Betrieb des optischen Systems parasitäre Wärme sowohl von der ersten Komponente (130) als auch von der zweiten Komponente (160) abführt. The invention relates to an assembly of an optical system for microlithography, comprising: - a first component (130) and a second component (160), the first component (130) and the second component (160) having mutually indepependent functionalities during operation of the optical system, each of which functionalities is accompanied by a release of parasitic heat; and - a cooling unit having at least one channel system (150), through which channel system a cooling fluid can flow; wherein said channel system (150) is configured such that, during operation of the optical system, the cooling fluid flowing in the channel system (150) removes parasitic heat both from the first component (130) and from the second component (160); wherein the channel system (150) is also configured such that the cooling fluid flowing in the channel system (150) flows along the first component (130) and along the second component (160) one after the other; and wherein the flow along the first component (130) is in the opposite direction to the flow along the second component (160).