Verfahren und Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines optischen Elements

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Charakterisierung der Oberflächenform eines optischen Elements. Ein erfindungsgemäßes Verfahren weist folgende Schritte auf: Durchführen einer Interferogramm-Messreihe an dem optischen Element durch Überlagerung jeweils einer durch Beugung elektromagnetischer Strahlung an wenigstens einem diffraktiven Element erzeugten und an dem optischen Element reflektierten Prüfwelle mit einer nicht an dem optischen Element reflektierten, über ein Referenzelement verlaufenden Referenzwelle, Durchführen weiterer Interferogramm-Messreihen an einer Mehrzahl von Kalibrierspiegeln zur Ermittlung von Kalibrierkorrekturen durch Überlagerung jeweils einer durch Beugung elektromagnetischer Strahlung an dem wenigstens einen diffraktiven Element erzeugten und an dem jeweiligen Kalibrierspiegel reflektierten Kalibrierwelle mit einer nicht an dem optischen Element reflektierten, über das Referenzelement verlaufenden Referenzwelle, und Bestimmen der Passe des optischen Elements basierend auf der an dem optischen Element durchgeführten Interferogramm-Messreihe und den ermittelten Kalibrierkorrekturen, wobei bei Auswertung der durchgeführten Interferogramm-Messreihen ein unterschiedlicher Phasenbezug der Interferogramm-Messreihen in seinem Einfluss auf die Ermittlung der Kalibrierkorrekturen wenigstens teilweise kompensiert wird. The invention relates to a method and to a device for characterising the surface shape of an optical element. The method according to the invention comprises the following steps: carrying out an interferogram measurement series on the optical element by superimposing a reference wave, which is not reflected on the optical element and passes over a reference element, on each test wave which is generated by diffraction of electromagnetic radiation on the at least one diffractive element and is reflected on the optical element, carrying out further interferogram measurement series on a plurality of calibration mirrors for determining calibration corrections by superimposing a reference wave, which is not reflected on the optical element and passes over a reference element, on each calibration wave which is generated by diffraction of electromagnetic radiation on the at least one diffractive element and is reflected on the particular calibration mirror, and determining the figure of the optical element on the basis of the interferogram measurement series carried out on the optical element and the deter