Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems
Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durc...
Gespeichert in:
| Hauptverfasser: | , , , , , |
|---|---|
| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | Volltext bestellen |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| container_end_page | |
|---|---|
| container_issue | |
| container_start_page | |
| container_title | |
| container_volume | |
| creator | Ohms, Torsten Classen, Johannes Schwenk, Christof Braeuer, Joerg Rumpf, Holger Tebje, Lars |
| description | Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durch Anlegen einer elektrischen Spannung auslenkbar ist, wobei die Dämpfungsstruktur derart ausgebildet ist, dass mithilfe einer Auslenkung der Dämpfungsstruktur ein Frequenzverhalten und/oder eine Dämpfung der beweglich aufgehängten Masse veränderbar ist.
A micromechanical system which includes a movably suspended mass. The micromechanical system includes a damping system, the damping system including a movably suspended damping structure, the damping structure being deflectable by applying a voltage. The damping structure is designed in such a way that a frequency response and/or a damping of the movably suspended mass are/is changeable with the aid of a deflection of the damping structure. |
| format | Patent |
| fullrecord | <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_DE102020210121A1</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>DE102020210121A1</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_DE102020210121A13</originalsourceid><addsrcrecordid>eNrjZAj0zcwuys9NTc5IzMssTs5ILVYIriwuSc3VUQhLLUpLzChKzVOoKs1VcEotKUrNTALyUjPzgKpy0fTlQfUV8zCwpiXmFKfyQmluBlU31xBnD93Ugvz41OKCxOTUvNSSeBdXQwMjEDQ0MDQydDQ0JlYdAN14Oak</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems</title><source>esp@cenet</source><creator>Ohms, Torsten ; Classen, Johannes ; Schwenk, Christof ; Braeuer, Joerg ; Rumpf, Holger ; Tebje, Lars</creator><creatorcontrib>Ohms, Torsten ; Classen, Johannes ; Schwenk, Christof ; Braeuer, Joerg ; Rumpf, Holger ; Tebje, Lars</creatorcontrib><description>Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durch Anlegen einer elektrischen Spannung auslenkbar ist, wobei die Dämpfungsstruktur derart ausgebildet ist, dass mithilfe einer Auslenkung der Dämpfungsstruktur ein Frequenzverhalten und/oder eine Dämpfung der beweglich aufgehängten Masse veränderbar ist.
A micromechanical system which includes a movably suspended mass. The micromechanical system includes a damping system, the damping system including a movably suspended damping structure, the damping structure being deflectable by applying a voltage. The damping structure is designed in such a way that a frequency response and/or a damping of the movably suspended mass are/is changeable with the aid of a deflection of the damping structure.</description><language>ger</language><subject>INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT ; MEASURING ; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK ; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PHYSICS ; TESTING ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220217&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102020210121A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20220217&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102020210121A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Ohms, Torsten</creatorcontrib><creatorcontrib>Classen, Johannes</creatorcontrib><creatorcontrib>Schwenk, Christof</creatorcontrib><creatorcontrib>Braeuer, Joerg</creatorcontrib><creatorcontrib>Rumpf, Holger</creatorcontrib><creatorcontrib>Tebje, Lars</creatorcontrib><title>Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems</title><description>Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durch Anlegen einer elektrischen Spannung auslenkbar ist, wobei die Dämpfungsstruktur derart ausgebildet ist, dass mithilfe einer Auslenkung der Dämpfungsstruktur ein Frequenzverhalten und/oder eine Dämpfung der beweglich aufgehängten Masse veränderbar ist.
A micromechanical system which includes a movably suspended mass. The micromechanical system includes a damping system, the damping system including a movably suspended damping structure, the damping structure being deflectable by applying a voltage. The damping structure is designed in such a way that a frequency response and/or a damping of the movably suspended mass are/is changeable with the aid of a deflection of the damping structure.</description><subject>INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT</subject><subject>MEASURING</subject><subject>MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK</subject><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</subject><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>TESTING</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZAj0zcwuys9NTc5IzMssTs5ILVYIriwuSc3VUQhLLUpLzChKzVOoKs1VcEotKUrNTALyUjPzgKpy0fTlQfUV8zCwpiXmFKfyQmluBlU31xBnD93Ugvz41OKCxOTUvNSSeBdXQwMjEDQ0MDQydDQ0JlYdAN14Oak</recordid><startdate>20220217</startdate><enddate>20220217</enddate><creator>Ohms, Torsten</creator><creator>Classen, Johannes</creator><creator>Schwenk, Christof</creator><creator>Braeuer, Joerg</creator><creator>Rumpf, Holger</creator><creator>Tebje, Lars</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20220217</creationdate><title>Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems</title><author>Ohms, Torsten ; Classen, Johannes ; Schwenk, Christof ; Braeuer, Joerg ; Rumpf, Holger ; Tebje, Lars</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102020210121A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2022</creationdate><topic>INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT</topic><topic>MEASURING</topic><topic>MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK</topic><topic>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</topic><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>TESTING</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Ohms, Torsten</creatorcontrib><creatorcontrib>Classen, Johannes</creatorcontrib><creatorcontrib>Schwenk, Christof</creatorcontrib><creatorcontrib>Braeuer, Joerg</creatorcontrib><creatorcontrib>Rumpf, Holger</creatorcontrib><creatorcontrib>Tebje, Lars</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Ohms, Torsten</au><au>Classen, Johannes</au><au>Schwenk, Christof</au><au>Braeuer, Joerg</au><au>Rumpf, Holger</au><au>Tebje, Lars</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems</title><date>2022-02-17</date><risdate>2022</risdate><abstract>Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durch Anlegen einer elektrischen Spannung auslenkbar ist, wobei die Dämpfungsstruktur derart ausgebildet ist, dass mithilfe einer Auslenkung der Dämpfungsstruktur ein Frequenzverhalten und/oder eine Dämpfung der beweglich aufgehängten Masse veränderbar ist.
A micromechanical system which includes a movably suspended mass. The micromechanical system includes a damping system, the damping system including a movably suspended damping structure, the damping structure being deflectable by applying a voltage. The damping structure is designed in such a way that a frequency response and/or a damping of the movably suspended mass are/is changeable with the aid of a deflection of the damping structure.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
| fulltext | fulltext_linktorsrc |
| identifier | |
| ispartof | |
| issn | |
| language | ger |
| recordid | cdi_epo_espacenet_DE102020210121A1 |
| source | esp@cenet |
| subjects | INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS TESTING TRANSPORTING |
| title | Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems |
| url | https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-29T04%3A22%3A17IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=Ohms,%20Torsten&rft.date=2022-02-17&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EDE102020210121A1%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true |