Mikromechanisches System, Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Systems

Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durc...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ohms, Torsten, Classen, Johannes, Schwenk, Christof, Braeuer, Joerg, Rumpf, Holger, Tebje, Lars
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird ein mikromechanisches System beansprucht, umfassend eine beweglich aufgehängte Masse, dadurch gekennzeichnet, dass das mikromechanische System eine Dämpfungsanordnung umfasst, wobei die Dämpfungsanordnung eine beweglich aufgehängte Dämpfungsstruktur aufweist, wobei die Dämpfungsstruktur durch Anlegen einer elektrischen Spannung auslenkbar ist, wobei die Dämpfungsstruktur derart ausgebildet ist, dass mithilfe einer Auslenkung der Dämpfungsstruktur ein Frequenzverhalten und/oder eine Dämpfung der beweglich aufgehängten Masse veränderbar ist. A micromechanical system which includes a movably suspended mass. The micromechanical system includes a damping system, the damping system including a movably suspended damping structure, the damping structure being deflectable by applying a voltage. The damping structure is designed in such a way that a frequency response and/or a damping of the movably suspended mass are/is changeable with the aid of a deflection of the damping structure.