Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Kontaminationszustands einer Oberfläche eines Facetten-Elements

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines Kontaminationszustandes einer Oberfläche (21a, ...) eines Facetten-Elements (13a, ...) eines Facettenspiegels für ein Beleuchtungssystem einer EUV-Lithographieanlage, umfassend: Automatisiertes Aufnehmen mindestens eines Bildes der Oberfläche...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Stirner, Steffen, Nikolova, Denitsa, Günther, Philip, Krähmer, Daniel, Küchle, Fritz-Robert, Leyendecker, Patrick
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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