Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen eines Kontaminationszustands einer Oberfläche eines Facetten-Elements

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines Kontaminationszustandes einer Oberfläche (21a, ...) eines Facetten-Elements (13a, ...) eines Facettenspiegels für ein Beleuchtungssystem einer EUV-Lithographieanlage, umfassend: Automatisiertes Aufnehmen mindestens eines Bildes der Oberfläche...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Stirner, Steffen, Nikolova, Denitsa, Günther, Philip, Krähmer, Daniel, Küchle, Fritz-Robert, Leyendecker, Patrick
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen eines Kontaminationszustandes einer Oberfläche (21a, ...) eines Facetten-Elements (13a, ...) eines Facettenspiegels für ein Beleuchtungssystem einer EUV-Lithographieanlage, umfassend: Automatisiertes Aufnehmen mindestens eines Bildes der Oberfläche (21a, ...) des Facetten-Elements (13a, ...), sowie automatisiertes Bestimmen des Kontaminationszustands der Oberfläche (21a, ...) des Facetten-Elements (13a, ...) anhand des mindestens einen automatisiert aufgenommenen Bildes. Die Erfindung betrifft auch Vorrichtung (20) zum Bestimmen eines Kontaminationszustandes der Oberflächen (21a, ...) von Facetten-Elementen (13a, ...) von Facettenspiegeln für ein Beleuchtungssystem einer EUV-Lithographieanlage, umfassend: eine Bildaufnahmeeinrichtung (23) zum automatisierten Aufnehmen mindestens eines Bildes einer Oberfläche (21a, ...) eines jeweiligen Facetten-Elements (13a, ...), sowie eine Bestimmungseinrichtung (24), insbesondere einen Messcomputer, zum automatisierten Bestimmen des Kontaminationszustands der Oberfläche (21a, ...) des Facetten-Elements (13a, ...) anhand des mindestens einen aufgenommenen Bildes (B).