Vorrichtung zum Befüllen einer Dampfzelleneinrichtung mit einem Gas, Verfahren zum Herstellen einer mit einem Gas befüllten Dampfzelleneinrichtung, und Dampfzelleneinrichtung

Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung (10) zum Befüllen einer Dampfzelleneinrichtung (1) mit einem Gas, umfassend ein Gasverteilungssubstrat (2), welches zumindest einen Gasverteilungskanal (2a) umfasst, ein Gasreservoir (8), welches an den Gaseinlass (3) anschließbar ist; und eine Pump...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Fuchs, Tino, Frey, Peter, Riedrich-Moeller, Janine, Ametowobla, Mawuli, Brenneis, Andreas, Menold, Tobias Joachim, Roelver, Robert
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING GYROSCOPIC INSTRUMENTS MACHINE TOOLS MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY NAVIGATION PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS SOLDERING OR UNSOLDERING SURVEYING TESTING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung schafft eine Vorrichtung (10) zum Befüllen einer Dampfzelleneinrichtung (1) mit einem Gas, umfassend ein Gasverteilungssubstrat (2), welches zumindest einen Gasverteilungskanal (2a) umfasst, ein Gasreservoir (8), welches an den Gaseinlass (3) anschließbar ist; und eine Pumpeinrichtung (PE), welche dazu eingerichtet ist, um das Gas in den Gasverteilungskanal (2a) hineinzupumpen und herauszupumpen und wieder in dem Gasreservoir (8) zu speichern; und eine Abdichteinrichtung (AE), welche zwischen der Dampfzelleneinrichtung (1) und dem Gasverteilungssubstrat (2) anbringbar ist und mittels welcher ein abgedichteter Zwischenraum (ZR) zwischen dem Gasverteilungssubstrat (2) und der Dampfzelleneinrichtung (1) erzeugbar ist, durch welchen das Gas von dem Individualgasauslass (4) in die Dampfzelleneinrichtung (1) einleitbar ist.