Verfahren zum Ändern der Raum-Orientierung einer Mikroprobe in einem Mikroskop-System, sowie Computerprogrammprodukt

Das erfindungsgemäße Verfahren betrifft das Ändern der Raum-Orientierung einer extrahierten Mikroprobe in einem Mikroskop-System. Das Verfahren wird mit Hilfe eines Teilchenstrahlmikroskops ausgeführt wird, das eine Teilchenstrahlsäule zum Erzeugen eines Strahls geladener Teilchen umfasst, die eine...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Dömer, Holger, Schmaunz, Andreas
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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