Verfahren zum Ändern der Raum-Orientierung einer Mikroprobe in einem Mikroskop-System, sowie Computerprogrammprodukt

Das erfindungsgemäße Verfahren betrifft das Ändern der Raum-Orientierung einer extrahierten Mikroprobe in einem Mikroskop-System. Das Verfahren wird mit Hilfe eines Teilchenstrahlmikroskops ausgeführt wird, das eine Teilchenstrahlsäule zum Erzeugen eines Strahls geladener Teilchen umfasst, die eine optische Achse aufweist. Weiterhin verfügt das Teilchenstrahlmikroskop über eine Haltevorrichtung zum Halten der extrahierten Mikroprobe. Das Verfahren umfasst die Schritte:a) Halten der extrahierten Mikroprobe und eines angrenzenden Scharnierelements mittels der Haltevorrichtung, wobei die Mikroprobe eine erste Raum-Orientierung relativ zur optischen Achse einnimmt;b) Erzeugen einer Biegekante im Scharnier-Element durch Bestrahlen mit einem Strahl geladener Teilchen, so dass die angrenzende Mikroprobe im Raum bewegt wird und die Raum-Orientierung der Mikroprobe verändert wird;c) Halten der Mikroprobe in einer zweiten Raum-Orientierung relativ zur optischen Achse, wobei die zweite Raum-Orientierung von der ersten Raum-Orientierung verschieden ist. A method is carried out with the aid of a particle beam microscope which includes a particle beam column for producing a beam of charged particles, the particle beam column having an optical axis. Furthermore, the particle beam microscope includes a holding device for holding the extracted micro-sample. The method includes holding the extracted micro-sample and an adjacent hinge element via the holding device. The micro-sample adopts a first spatial orientation relative to the optical axis. The method also includes producing a bending edge in the hinge element by way of irradiation with a beam of charged particles such that the adjacent micro-sample is moved in space and the spatial orientation of the micro-sample is altered. The method further includes holding the micro-sample in a second spatial orientation relative to the optical axis, wherein the second spatial orientation differs from the first spatial orientation.