Vorrichtung und Verfahren zur optischen Analyse eines reflektierenden Prüflings

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen Analyse eines reflektierenden Prüflings (2). Die Vorrichtung umfasst eine Strahlquelle (1) zur Generierung eines Prüfstrahls (P), der auf den Prüfling (2) gerichtet wird, der den Prüfstrahl (P) an einem Reflexionspunkt (RP) reflektiert, wodurch ein reflektierter Prüfstrahl (R, R') erzeugt wird. Ferner beinhaltet die Vorrichtung eine Detektionseinrichtung (3) mit einer oder mehreren Detektionsflächen (5, 5', 5"), um darauf mehrere Strahlauftreffpositionen (AP, AP') von Strahlung des reflektierten Prüfstrahls (R, R') zu detektieren, wobei sich die optischen Weglängen der Strahlung des reflektierten Prüfstrahls (R, R') vom Reflexionspunkt (RP) bis zur entsprechenden Strahlauftreffposition (AP, AP') zwischen den mehreren Strahlauftreffpositionen (AP, AP') unterscheiden. Darüber hinaus ist eine Auswerteeinheit (8) zur Bestimmung des Strahlverlaufs des reflektierten Prüfstrahls (R, R') am Reflexionspunkt (RP) unter Verwendung der detektierten Strahlauftreffpositionen (AP, AP') vorgesehen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, dass die Detektionseinrichtung (3) mehrere ebene und zumindest teilreflektierende Reflexionsflächen (701, 702, 703, 704) umfasst, welche dazu vorgesehen sind, jeweilige reflektierte Prüfstrahlen (R, R') erstmalig entlang ihrer Propagation zu den mehreren Strahlauftreffpositionen (AP, AP') durch Reflexion abzulenken, wobei jede Reflexionsfläche (701, 702, 703, 704) jeweilige reflektierte Prüfstrahlen (R, R') ablenkt, die am Reflexionspunkt (RP) in andere Richtungen zeigen als jeweilige reflektierte Prüfstrahlen (R, R'), welche alle anderen Reflexionsflächen (701, 702, 703, 704) ablenken.