SPEICHERARRAYKONTAKTSTRUKTUREN

Eine Speicherzelle enthält einen Transistor mit einem Speicherfilm, der sich entlang einer Wortleitung erstreckt; einer Kanalschicht, die sich entlang des Speicherfilms erstreckt, wobei der Speicherfilm zwischen der Kanalschicht und der Wortleitung liegt; einer Source-Leitung, die sich entlang des S...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Lin, Yu-Ming, Young, Bo-Feng, Yeong, Sai-Hooi, Chang, Chih-Yu, Lin, Meng-Han
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
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