Vorrichtung zur massenspektrometrischen Leckdetektion mit dreistufiger Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe

Eine Vorrichtung zur Leckdetektion an einem Prüfling mit einem Massenspektrometer (12), einer mindestens dreistufigen Turbomolekularpumpe (14), deren Eingangsstufe (18) mit dem Massenspektrometer (12) verbunden ist und die einen zwischen der Eingangspumpstufe und der mittleren Pumpstufe (26) angeordneten ersten Zwischengaseinlass und einen zwischen der mittleren Pumpstufe (26) und der Ausgangspumpstufe (24) angeordneten zweiten Zwischengaseinlass aufweist, einer mindestens zweistufigen Boosterpumpe, deren Eingangspumpstufe (46) mit dem zu untersuchenden Prüfling verbindbar ist und die einen zwischen der Eingangspumpstufe (46) und der Ausgangspumpstufe (48) angeordneten Zwischengasauslass (54) aufweist, und einer mit dem Auslass (20) der Ausgangspumpstufe (24) der Turbomolekularpumpe (14) verbundenen Vorvakuumpumpe (22), die dazu ausgebildet ist, einen Vorvakuumdruck von weniger als 50 mbar am Auslass (20) der Turbomolekularpumpe (14) zu erzeugen und gegen atmosphärischen Druck zu evakuieren, ist dadurch gekennzeichnet, dass der Zwischengasauslass (54) der Boosterpumpe mit dem ersten Zwischengaseinlass (36) der Turbomolekularpumpe (14) über einen ersten Verbindungszweig (62) gasleitend verbunden ist und dass der Auslass der Ausgangspumpstufe (48) der Boosterpumpe mit dem zweiten Zwischengaseinlass der Turbomolekularpumpe (14) über einen zweiten Verbindungszweig (64) gasleitend verbunden ist. A device for leak detection on a test specimen, comprising a mass spectrometer (12), an at least three-stage turbomolecular pump (14), the input stage (18) of which is connected to the mass spectrometer (12) and which has a first intermediate gas inlet arranged between the input pump stage and the intermediate pump stage (26) and a second intermediate gas inlet arranged between the intermediate pump stage (26) and the output pump stage (24), an at least two-stage booster pump, the input pump stage (46) of which can be connected to the test specimen to be examined and which has an intermediate gas outlet (54) arranged between the input pump stage (46) and the output pump stage (48) and a pre-vacuum pump (22) which is connected to the outlet (20) of the output pump stage (24) of the turbomolecular pump (14) and is configured to generate a pre-vacuum pressure of less than 50 mbar at the outlet (20) of the turbomolecular pump (14) and to evacuate it against atmospheric pressure, characterized in that the intermediate gas outlet (54) of the booster pump is connected in a gas