KRAFTRÜCKKOPPLUNGSAKTUATOR FÜR EINEN MEMS-WANDLER

Kraftrückkopplungsaktuator (200), umfassend:ein Paar von Elektroden (220, 224), die voneinander beabstandet sind, um einen Spalt (218) zu bilden; undein dielektrisches Element (216), das zumindest teilweise innerhalb des Spalts (218) angeordnet ist, wobei das dielektrische Element (216) einen ersten...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Thompson, Stephen C, Loeppert, Pete, Nawaz, Mohsin, Sbiaa, Zouhair, Pedersen, Michael
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	DEAF-AID SETS ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE ELECTRICITY LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKEACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PUBLIC ADDRESS SYSTEMS TRANSPORTING
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