KRAFTRÜCKKOPPLUNGSAKTUATOR FÜR EINEN MEMS-WANDLER

Kraftrückkopplungsaktuator (200), umfassend:ein Paar von Elektroden (220, 224), die voneinander beabstandet sind, um einen Spalt (218) zu bilden; undein dielektrisches Element (216), das zumindest teilweise innerhalb des Spalts (218) angeordnet ist, wobei das dielektrische Element (216) einen ersten Abschnitt (228) mit einer ersten Dielektrizitätskonstanten und einen zweiten Abschnitt (230) mit einer zweiten Dielektrizitätskonstanten aufweist, wobei das dielektrische Element (216) und das Elektrodenpaar (220, 224) für eine Bewegung relativ zueinander konfiguriert sind,wobei der zweite Abschnitt (230) zumindest teilweise innerhalb des ersten Abschnitts (228) angeordnet ist undwobei sich die Dielektrizitätskonstante des dielektrischen Elements (216) in einer Richtung senkrecht zu oder entlang einer Richtung der Relativbewegung zwischen dem dielektrischen Element (216) und dem Elektrodenpaar (220, 224) ändert. A force feedback actuator includes a pair of electrodes and a dielectric member. The pair of electrodes are spaced apart from one another to form a gap. The dielectric member is disposed at least partially within the gap. The dielectric member includes a first portion having a first permittivity and a second portion having a second permittivity that is different from the first permittivity. The dielectric member and the pair of electrodes are configured for movement relative to each other.