Suszeptor für einen CVD-Reaktor

Die Erfindung betrifft einen Suszeptor für einen CVD-Reaktor, bestehend aus einem flachen Körper mit einer ersten Breitseitenfläche (2), die zumindest eine kreisförmige, sich in einer Ebene (E) erstreckende Lagerfläche (3) zur Lagerung eines kreisscheibenförmigen Substrathalters (4) mit einer um ein Zentrum (8) der Lagerfläche (3) angeordneten inneren Zone (5) und zumindest einer die innere Zone (5) umgebende mittlere Zone (6) und eine die mittlere Zone (6) umgebende äußere Zone (7) auf-weist, wobei in der äußeren Zone (7) zumindest bereichsweise um das Zentrum (8) der Lagerfläche (3) verlaufende Antriebsvertiefungen (9, 22) angeordnet sind und in der mittleren Zone (6) Kanäle (10, 10', 10") verlaufen, die eine gegenüber dem Zentrum (8) versetzt angeordnete Mündung (11) einer Zuleitung (12) zum Einspeisen eines Gases jeweils mit einer Antriebsvertiefung (9) strömungsverbinden. Um den Wärmetransport vom Suszeptor zu einem vom Substrathalter (4) getragenen Substrat über die gesamte Fläche des Substrates zu vergleichmäßigen wird vorgeschlagen, dass die Kanäle dass die Kanäle (10, 10', 10") asymmetrisch, bezogen auf das Zentrum (8), verlaufen und/oder dass die Kanäle (10, 10', 10") gemeinschaftlich an der Mündung (11) entspringen und/oder dass der hydraulische Durchmesser der Querschnittsfläche der Kanäle (10, 10', 10") größer ist, als der hydraulische Durchmesser der Querschnittsfläche der Antriebsvertiefungen (9, 22), und/oder dass zwischen den Kanälen (10, 10') und den Antriebsvertiefungen (9, 22) Strömungsbarrieren (23) vorgesehen sind.