Verfahren und Vorrichtung zur Detektion eines Materialfilms auf einer Oberfläche eines Werkstücks

Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Detektion eines Materialfilms (200) auf einer Oberfläche (102) eines Werkstücks (100) offenbart. Die Detektion der Dicke des Materialfilms (200) erfolgt dabei durch Bestimmen eines Betrags einer damit korrelierenden physikalischen Größe, beispielsweis...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Braumandl, Walter
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es werden ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Detektion eines Materialfilms (200) auf einer Oberfläche (102) eines Werkstücks (100) offenbart. Die Detektion der Dicke des Materialfilms (200) erfolgt dabei durch Bestimmen eines Betrags einer damit korrelierenden physikalischen Größe, beispielsweise einer Oberflächenspannung. Dazu wird ein Verhältnis aus zwei detektierten IR-Intensitäten verwendet, die die Intensität von an der Oberfläche (102) reflektiertem IR-Licht in jeweils unterschiedlichen IR-Wellenlängenbereichen angeben. Mittels einer geeigneten Kalibrierung kann anhand dieses Verhältnisses die physikalische Größe, beispielsweise die Oberflächenspannung eines auf einem gereinigten Bauteil verbleibenden Ölfilms, bestimmt werden.